પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીન સ્ટ્રક્ચર

ICP સાધનોમાં મુખ્યત્વે ચાર ભાગોનો સમાવેશ થાય છે: પ્રી-વેક્યૂમ ચેમ્બર, એચિંગ ચેમ્બર, ગેસ સપ્લાય સિસ્ટમ અને વેક્યૂમ સિસ્ટમ.

(1) પ્રી-વેક્યુમ ચેમ્બર

પ્રી-વેક્યૂમ ચેમ્બરનું કાર્ય એ સુનિશ્ચિત કરવાનું છે કે એચિંગ ચેમ્બર નિર્ધારિત વેક્યૂમ સ્તરે જાળવવામાં આવે છે, બાહ્ય વાતાવરણ (જેમ કે ધૂળ, પાણીની વરાળ) દ્વારા પ્રભાવિત થતું નથી અને સ્વચ્છ રૂમમાંથી જોખમી વાયુઓને અલગ કરે છે. તેમાં કવર, મેનીપ્યુલેટર, ટ્રાન્સમિશન મિકેનિઝમ, આઇસોલેશન ડોર વગેરેનો સમાવેશ થાય છે.

(2) ઈચિંગ ચેમ્બર

એચીંગ ચેમ્બર એ ICP એચીંગ સાધનોનું મુખ્ય માળખું છે. તેની સીધી અસર એચીંગ રેટ, એચીંગની વર્ટિકલીટી અને રફનેસ પર પડે છે. એચિંગ ચેમ્બરના મુખ્ય ઘટકો છે: ઉપલા ઇલેક્ટ્રોડ, ICP રેડિયો ફ્રીક્વન્સી યુનિટ, આરએફ રેડિયો ફ્રીક્વન્સી યુનિટ, લોઅર ઇલેક્ટ્રોડ સિસ્ટમ, તાપમાન નિયંત્રણ સિસ્ટમ, વગેરે.

(3) ગેસ સપ્લાય સિસ્ટમ

ગેસ સપ્લાય સિસ્ટમ વિવિધ એચિંગ ગેસને એચિંગ ચેમ્બરમાં પહોંચાડવા અને પ્રેશર કંટ્રોલર (પીસી) અને માસ ફ્લો કંટ્રોલર (એમએફસી) દ્વારા ગેસના પ્રવાહ દર અને પ્રવાહને ચોક્કસ રીતે નિયંત્રિત કરવા માટે છે. ગેસ સપ્લાય સિસ્ટમમાં ગેસ સ્ત્રોતની બોટલ, ગેસ ડિલિવરી પાઇપલાઇન, કંટ્રોલ સિસ્ટમ, મિક્સિંગ યુનિટ વગેરેનો સમાવેશ થાય છે.

(4) વેક્યુમ સિસ્ટમ
બે શૂન્યાવકાશ પ્રણાલીઓ છે, એક પ્રી-વેક્યુમ ચેમ્બર માટે અને બીજી એચીંગ ચેમ્બર માટે. પ્રી-વેક્યુમ ચેમ્બરને યાંત્રિક પંપ દ્વારા ખાલી કરવામાં આવે છે. પ્રી-વેક્યૂમ ચેમ્બરમાં વેક્યૂમ લેવલ સેટ મૂલ્ય સુધી પહોંચે ત્યારે જ વેફરને ટ્રાન્સફર કરવા માટે આઇસોલેશન બારણું ખોલી શકાય છે. એચિંગ ચેમ્બરમાં વેક્યુમ યાંત્રિક પંપ અને મોલેક્યુલર પંપ દ્વારા પ્રદાન કરવામાં આવે છે. એચિંગ ચેમ્બરમાં પ્રતિક્રિયા દ્વારા ઉત્પન્ન થતા વાયુઓ પણ વેક્યુમ સિસ્ટમ દ્વારા ખાલી કરવામાં આવે છે.